压缩空气主要用途有二，一为供洁净区之制程机台及其远端设备操作所需，另一则为供应厂务系统中各项仪控设备如控制阀等操作运转所需之压缩空气。此系统所使用之压缩机均为无油式，其形式有往复式、螺旋式和离心式，但以离心式或螺旋式为主，图7-3即为螺旋式压缩机之外观图。此系统之主要元件内容和规范如表7-2所示，为避免此系统于设备故障或停电时造成气源之中断，故常与GN₂系统并联，令GN_2作为Back up之用。

呼吸系统用空气功能是为供应厂区人员因应特殊情况下工作时，如制程设备维修、更换毒气钢瓶等所需呼吸之空气，系统包含空压机、初级滤网，后段过滤器、干燥机、供应管路、呼吸面罩等，其规范如表7-3所示，此系统须特别注意的是要独立设置，而不能与CDA系统并联使用，以免发生N₂倒灌而危及人员安全。