制程冷却水为高科技生产工厂中动力命脉之一，举凡氧化、溅镀薄膜、扩散、黄光、离子植子、蚀刻、液晶充填、玻璃切割等制程均须使用此系统。此系统主要作为制程机台与远端设备部份废热之移除用途，依各机台之需求温度不同而大部控制在18~21°C之间，冷却水供应压力大约在4~6kg/cm^{2之间属常压回水循环系统并做水质监控，同时以板式热交换器进行温度调节。}

本系统之组成有储水槽、板式热交换器、管路系统（含供应之冷却水和冰水管路）、泵浦、过滤器、水质监视器、保温材等。