研磨液颗粒计数仪 Accusizer

研磨液颗粒计数仪(Accusizer) 是利用单颗粒光学传感器(Signal Particle Optics Sensor, SPOS)对液体中的颗粒进行粒径测试并计数的一种分析仪器。

研磨液颗粒计数仪主要包括检测器、全自动进样系统和二级自动稀释系统，其主要工作原理为，当不同粒径大小的粒子经过光感区域时，光强会随之产生相应的变化，处理器会根据这些由探测器将光信号转换而来的电压信号计算出粒子粒径的大小(因为不同大小的粒径会对应不同大小的电压信号)。

SPOS技术利用光散射与光消减两种物理作用，提高了研磨液颗粒计数仪的快速检测能力和辨析度，避免了粒子间的相互干扰，可以真实、准确地分析出样品的粒径及分布。

在集成电路制造领域，研磨液颗粒计数仪主要用于对化学机械研磨工艺中所用研磨液颗粒的粒径和分布的检测，对碱少化学机械研磨工艺中的缺陷，提高产品成品率有着非常重要的作用。