制程真空系统之功能是为因应如光阻涂布时之晶片吸着或玻璃板清洗时之吸附等，以避免晶片或玻璃基板在制造过程中破损，此系统主要包含有：真空泵、缓冲桶槽、管路系统及冷却水等，真空泵以水冷或油冷之螺旋泵为主，管路材质则为U-PVC Sch80，避免管路因真空度过高而变形。

清洁真空系统是为洁净室之洁净状态维持在规范内或生产及设备维修时人员清洁之用而设置，此系统之组成元件和规范如表7-4所示。