气体管路包含高压空气、大宗气体和特殊性气体，在管路系统中属于较特殊的一类，主要原因在于其具有危及人员生命安全的危险性，因此此系统的设计、施工管理及完工测试需特别考量。气体供应品质的优劣与供应设备的性能、输送管件材质、管内壁粗糙度和焊接技术有重要关系，故在管材材质处理和成分方面，内外部的洁净处理、降低污染管材的化学成分、金属材料主要成分控制以及抑制杂质成分的释放均为重点所在。
科技厂生产过程中，粒子之去除是一件相当重要工作，为尽量去除Particle必须考量管件内部的平滑度，以防止尘埃滞留。目前管件生产过程中，化学处理、抛光处理、电解研磨等制造加工技术已相当成熟，所生产的管件已广泛应用于半导体和光电厂等气体输送系统。一般气体管材加工处理依JIS-0601规范分为五种，目的是防止微尘粒子沉积、增加Purge效率与防止水分滞留，分类如下：
1.素管（引拔管）AP：此管是指未经处理的管材，其内部表面粗糙度Rmax为20~50μm（Rmax表示测定基准长度0.5~0.8mm间的最大山高标准），适用于一般冷却水管、冰水管和真空管路等。
.化学处理管CT：表面粗糙度10~20μm，适用于冷却水管、冰水管、真空管和一般压缩空气管。
3.光辉烧钝处理（抛光处理）BA：表面粗糙度3~8μm，适用于需求较高等级压缩空气及气体精制器(Purifier)前的N2、O2、H2、Ar、He等配管。
4.化学研磨处理CP：表面粗糙度0.5~1.0μm，适用场所同BA管。
5.电解研磨处理EP：表面粗糙度0.3~0.8μm，适用于Purifier后的N2、O2、H2、He、Ar及所有特殊气体管线。
管路加工完成后，需进行清洁、清洗和包装等工序，这些过程须在Class 10~10000级洁净室内完成。包装时需充填N2气体并用双层保护膜封装。
至于管材加工过程中需持续进行质量监控，检验项目、方法及标准依据不同加工方式而有所差异。气体配管对品质和程序要求严格，特别强调：
1.环境控制：需在洁净室作业，人员穿戴洁净服，工具材料需清洁。
2.技术人员资格：焊接人员需持有不锈钢专业焊接执照。
3.施工规范：需预先规划，管材存放于指定仓库，现场配备消防设备配管时需注意。
连接处空间死角需最小化，使用金属密封垫替代塑料密封优先采用自动氩弧焊而非螺纹连接管路施工完成后需进行以下测试：
1.耐压测试：
（1）瞬时压力为工作压力1.5倍，保压30分钟。
（2）24小时压力测试为工作压力1.5倍，保压24小时。
以上测试在该需求时间内均无压降为合格。
2.气密测试：使用氦气检漏仪，漏率≤1×10⁻⁹atm·cc/sec
3.水分测试：露点温度≤-80℃（0.54ppm含水量）
4.微粒子测试：使用微粒子测量仪，测试数据以测试10次后取平均值，所测之值为≥0.1μm，≤10颗/立方英尺，或≥0.05μm，≤5颗/立方英尺为合格标准。
5.微氧浓度测试：含氧量≤100ppb
