以上测试在该需求时间内均无压降为合格。

2.气密测试：使用氦气检漏仪，漏率≤1×10⁻⁹atm·cc/sec

3.水分测试：露点温度≤-80℃（0.54ppm含水量）

4.微粒子测试：使用微粒子测量仪，测试数据以测试10次后取平均值，所测之值为≥0.1μm，≤10颗/立方英尺，或≥0.05μm，≤5颗/立方英尺为合格标准。

5.微氧浓度测试：含氧量≤100ppb